... се е приближила до границите на възможното при понижаване на технологичните стандарти и 193 nm скенерите ще продължат да бъдат авангардно оборудване още дълго време.
... се е приближила до границите на възможното при понижаване на технологичните стандарти и 193 nm скенерите ще продължат да бъдат авангардно оборудване още дълго време.