Руските 193 nm литографи ще се появят след около 2 години и ще работят по старомодния начин
В изявление за сътрудник на ТАСС Генадий Красников, президент на Руската академия на науките съобщи, че съветските 193 нанометрови литографски скенери за произвеждане на модерни чипове ще се появят след към две години. Освен това ученият означи, че оборудванията ще се основават на типичен ексимерни светлинни източници, а не на полупроводникови лазери с всички свързани с това преимущества.
В края на март стана известно, че съветски и беларуски откриватели взаимно са основали литографски скенер с дължина на вълната 350 nm. Класическите литографи от последните десетилетия използваха живачни лампи с дължина на вълната 365 nm като източник на светлина за такива резолюции. Руско-беларуската разработка разчита на модернизиран твърдотелен източник на светлина – лазер, който прави скенера по-компактен, ефикасен и доходоносен.
Може да се чака, че по-нататъшното понижаване на дължината на вълната и подобряването на разграничителната дарба на проекцията ще следват същия път. Засега обаче това няма да се случи.
Както признава Красников, в този момент учените работят с ексимерни източници на светлина въз основата на примес от благородни газове – по-специално с източници с дължина на вълната 248 nm, а в близко бъдеще и с типичен 193 nm лазери.
Това е път, който към този момент е извървян от международните производители на литографско съоръжение и е благонадежден като швейцарски часовник. Газовите лазери отстъпват на полупроводниковите във връзка с общата продуктивност, само че те към този момент са в положение да обезпечат това, което твърдотелните лазери няма да могат да създадат още дълго време – мощ на лъчение, задоволителна за висока продуктивност на литографските съоръжения.
Обнадеждаващо е известието, че 193 nm скенери евентуално ще бъдат разполагаем единствено след две години. Такова съоръжение към момента е в положение да създава усъвършенствани чипове по 5 nm софтуерен развой. Полупроводниковата промишленост се е доближила до границите на вероятното при намаление на софтуерните стандарти и 193 nm скенерите ще продължат да бъдат авангардно съоръжение още дълго време.
