... подравняване на следващата пластина, докато се експонира предишната. Според ръководството на ASML, скенерът Twinscan XT:260 е само първият модел от цяло семейство специализирано литографско оборудване.
... подравняване на следващата пластина, докато се експонира предишната. Според ръководството на ASML, скенерът Twinscan XT:260 е само първият модел от цяло семейство специализирано литографско оборудване.