... 4,7%. За сравнение, ефективността на преобразуване на наличните в търговската мрежа източници на светлина за EUV фотолитография, базирани на CO₂ лазер, е около 5,5 %.
Euv Литографи - Новини
... 4,7%. За сравнение, ефективността на преобразуване на наличните в търговската мрежа източници на светлина за EUV фотолитография, базирани на CO₂ лазер, е около 5,5 %.